仪器科学与技术学科
基本信息
性别：男 || 出生年月：1989.8 || 政治面貌：党员
现任职称：教授
最后学历：博士 || 最后学位：工学博士 || 获学位单位：清华大学
联系方式： || 邮箱：yourui@bistu.edu.cn || 通讯地址：北京市海淀区清河小营东路12号
导师信息
硕导/博导：博导 || 批硕/博导时间：2021.5（硕导）/2021.6（博导）
在读硕士： 18人 || 毕业硕士：14 人 || 在读博士：20人 || 毕业博士：1人
所属院系、学科及研究方向
所属学院：yl34511线路中心
所属系：智能感知工程系
所属学科：仪器科学与技术
研究方向1：微纳制造
研究方向2：微纳器件与集成系统
研究方向3：智能感知
参加学术团体
中国微米纳米学会微米纳米加工技术分会，理事
中国图象图形学学会图像感知微系统专委会(筹)，委员
中国仪器仪表学会传感器分会，委员
中国计量测试学会计量仪器专业委员会，委员
中国仪器仪表学会医疗仪器分会，副理事长
中国计量测试学会技术推广与转化委员会，常务理事
科技部重点研发计划“智能传感器”专项组，专家
高端分析仪器四川省工程研究中心技术委员会，委员
北京市海淀区科学技术协会，委员
《红外与激光工程》期刊，青年编委
工作简历
2019.1 - 2021.2 北京大学 微纳电子学系 博士后、助理研究员
2021.3 - 至今 永利官网 yl34511线路中心 教授、博士生导师
承担教学任务
本科生课程《误差理论与数据处理》、《本科新生研讨课——从微悬臂梁到微纳无人机：MEMS与微系统技术》、《智能感知工程专业导论》；
研究生课程《微纳加工及测试技术》、《仪器科学与技术前沿讲座》（硕/博）
承担的科研项目情况
Ø 国家科技部，国家重点研发计划项目，2024YFE0211600，多组分智能识别微纳气体传感器关键技术合作研发，项目首席科学家
Ø **科技委，JCJQ重点基础研究项目，***，***器件，项目首席科学家
Ø **科技工业局，稳定支持项目，***，***刻蚀技术
Ø **科技工业局，GF基础科研计划项目，***，***加工技术
Ø **科技委，JCJQ技术领域基金项目，***，***超表面
Ø 国家科技部，国家重点研发计划课题，2021YFB3201303，MEMS工艺与气敏材料成膜技术研究
Ø 国家自然基金委，区域创新发展联合基金集成项目课题，U21A6003，基于模块化功能单元的复杂微系统设计方法与验证
Ø 国家自然基金委，国家自然科学基金青年科学基金项目，62204020，基于准连续域束缚态超表面的太赫兹生物传感增强方法研究
Ø 国家教育部，**预研教育部联合基金项目，***，***智能感知技术
Ø 北京市教委，北京高校卓越青年科学家计划项目，JWZQ20240101028
Ø 北京市科委，北京市科技新星计划交叉课题，20230484473，基于超薄压力传感器的膝关节置换软组织压力实时测量技术研究
Ø 北京市科委，北京市科技新星计划项目，2021B00001773，面向新型冠状病毒诊断的MEMS超材料呼气传感技术研究
论文目录
主要期刊论文：
Ø Monolayer graphene interlayer enhanced fexible gas sensor with fast response and high strain tolerance for wearable ammonia monitoring. Chemical Engineering Journal, 2025: 165630.
Ø Design method for out-of-plane motion rejecting structure in 2-DoF large stroke actuators. Microsystems & Nanoengineering, 2025, 11(1), 144.
Ø Three-dimensional measurement enabled by single-layer all-in-one transmitting-receipting optical metasystem. Opto-Electronic Advances, 2024, 7, 230126.
Ø On Demand Copper Electrochemical Deposition on Laser Induced Graphene for Flexible Electronics. Small，2025, 2408943.
Ø 3D Thermoshrink Micropillar Array Metasurface Biochemical Sensor at the Terahertz Frequency. Optics Express, 2024, 32(26), 47248-47258.
Ø Non-Invasive In-Situ Monitoring of Deep Etching Processes Using Terahertz Metasurfaces. Optics Express, 2024, 32(26), 46999-47010.
Ø Nonlinear metamaterials enhanced surface coil array for parallel magnetic resonance imaging. Nature Communications, 2024, 15:7949.
Ø High-Performance Sensing Platform Based on Morphology/Lattice Collaborative Control of Femtosecond-Laser-Induced MXene-Composited Graphene. Advanced Science, 2024, 2404889.
Ø Visible Light-Activated Room Temperature NO2 Gas Sensing Based on the In2O3@ZnO Heterostructure with a Hollow Microtube Structure. ACS Sensors, 2024, 9, 3741-3753.
Ø Investigation of sorptive interactions between volatile organic compounds and supramolecules at dynamic oscillation using bulk acoustic wave resonator virtual sensor arrays. Microsystems & Nanoengineering, 2024, 10: 99.
Ø Fabrication and modulation of flexible electromagnetic metamaterials. Microsystems & Nanoengineering, 2025, 11: 14.
Ø In Situ Laser-Induced 3D Porous Graphene within Transparent Polymers for Encapsulation-Free and Tunable Ultrabroadband Terahertz Absorption. ACS applied materials & interfaces, 2024, 16, 26557-26567.
Ø In-situ growth of ZnO@ZnWO4 heterojunction with flower-like structure by chemical vapor deposition for H2S gas sensor. Applied Surface Science, 2025, 679, 161149.
Ø Micro-spherical SnO2/Zn2SnO4 heterojunction for sensitive and selective detection of hydrogen sulfide. Applied Surface Science, 2024, 669, 160518.
Ø Directly writing multicomponent plasmonic nanocavities based on fs-laser induced photo-mechanical spallation. Optics and Laser Technology, 2025, 181, 111752.
Ø Enhanced Sugar Sensing via a Fano Resonance Terahertz Metasurface with a Metallic Cross-shaped Hole Array. IEEE Sensor Journal, 2024, 24, 21.
Ø Non-Hermitian Broadside Coupled Split Ring Resonators with Directional Sensitivity. Advanced Optical Material, 2024, 2302420.
Ø A Miniaturized Wireless Micropump Enabled by Confined Acoustic Streaming. Research, 2024, 7, 0314.
Ø High-Efficiency Dynamic Terahertz Deflector Utilizing a Mechanically Tunable Metasurface. Research, 2023, 6, 0274.
Ø A magnetic control enrichment technique combined with terahertz metamaterial biosensor for detecting SARS-CoV-2 spike protein. Biosensors and Bioelectronics, 2024, 243, 115763.
Ø Detection of propionaldehyde with mixed potential type sensor based on Gd2Zr2O7 solid electrolyte coupling SmSbO4 sensing electrode. Applied Surface Science, 2023, 640, 158406.
Ø Research progress of electronic nose technology in disease exhaled breath analysis. Microsystems & Nanoengineering, 2023, 9, 129.
Ø Enhanced corrosion resistance of Mg and Mg alloys with fs-laser printed hydrophobic and periodically micro rippled surface for armor application. Applied Surface Science，2023，639， 158156.
Ø Two-Dimensional Transition Metal Dichalcogenide Tunnel Field Effect Transistors for Biosensing Applications, ACS applied materials & interfaces, 2023, 15(19), 23583-23592.
Ø Laser fabrication of graphene-based flexible electronics. Advanced Materials, 2020, 32, 1901981.
Ø Fabrication of flexible room-temperature NO2 sensors by direct laser writing of In2O3 and graphene oxide composites. Sensors and Actuators B: Chemical, 2018, 277, 114-120.
Ø Mixed-potential-type NO2 sensors based on stabilized zirconia and CeO2-B2O3(B = Fe, Cr) binary nanocomposites sensing electrodes. Sensors and Actuators B: Chemical, 2018, 266, 793-804.
Ø High performance mixed-potential-type Zirconia-based NO2 sensor with self-organizing surface structures fabricated by low energy ion beam etching. Sensors and Actuators B: Chemical, 2018, 263, 445-451.
著作目录
1.Chapter 3: Micromachining Based on Mask-Free Direct Writing: An Advanced Approach to Innovative MEMS Gas Sensors, Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors. Springer Nature. (ISBN 978-3-030-79748-5，49-74)（章节第一作者）
2.Micromachined Mixed-potential-type YSZ-based Sensors for Nitrogen Dioxide Monitoring in Automobile Exhaust. Springer Nature. （ISBN 978-981-97-3294-4） （唯一作者）
科研成果
国家微纳制造创新中心副主任、北京市国际科研合作基地负责人、国家实验室双聘研究员。近五年，主持国家重点研发计划、GF重点项目、国家自然科学基金等纵向项目14项。第一/通讯作者SCI/EI论文36篇，入选全球前2%顶尖科学家（2022、2023、2024年度）；出版专著3部；牵头/参与制定国家标准、团体标准3项，公开/授权中国发明专利54项。
表彰和荣誉
1.2025年入选Elsevier全球前2%科学家榜单（Nanoscience & Nanotechnology领域）；
2.2024年入选“北京高校卓越青年科学家计划”；
3.2024年入选Elsevier全球前2%科学家榜单（Nanoscience & Nanotechnology领域）；
4.2023年入选“北京市优秀青年人才”；
5.2023年入选Elsevier全球前2%科学家榜单（Physical Chemistry领域）；
6.2023年获“北京市高校优秀共产党员”；
7.2023年获“永利官网青年五四奖章”；
8.2022年入选“国家级青年人才计划”；
9.2022年获“中国仪器仪表学会青年科技人才奖”；
10.2022年入选“中国科协青年人才托举工程”；
11.2021年入选“北京市科技新星计划”；
12.2021年入选“永利官网勤信学者”；
13.2019年入选“北京大学博雅博士后计划”；
14.2019年获“测量控制与仪器仪表领域全国优秀博士论文”；
15.2018年获“清华大学清华大学优秀博士毕业生”、“优秀博士论文”、“学术新秀”。